申请/专利权人：天津绿菱气体有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220696346U

主分类号：B01D53/78

分类号：B01D53/78;B01D53/68;B01D53/00;B01D29/03;B01D36/04;C01B33/107;C01B33/10;F25D1/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型提供了一种四氟化硅尾气排空装置，包括预处理组件、水洗组件和冷水循环组件，预处理组件和水洗组件设置在冷水循环组件两侧，预处理组件和水洗组件通过排气管连通；所述预处理组件包括预处理箱体、进气管、第一排液管、第一杂质过滤盒，进气管设置在预处理箱体的顶部，第一杂质过滤盒设置在预处理箱体内部，第一排液管设置在预处理箱体远离水洗组件一侧的底部，第一排液管上设有第一止液阀，预处理箱体的前侧设有第一箱门，第一箱门上设有第一把手。本装置的预处理组件能够避免尾气排空装置因二氧化硅沉淀导致的阻塞。

主权项：1.一种四氟化硅尾气排空装置，其特征在于：包括预处理组件、水洗组件和冷水循环组件，预处理组件和水洗组件设置在冷水循环组件两侧，预处理组件和水洗组件通过排气管1连通；所述预处理组件包括预处理箱体2、进气管3、第一排液管4、第一杂质过滤盒5，进气管3设置在预处理箱体2的顶部，第一杂质过滤盒5设置在预处理箱体2内部，第一排液管4设置在预处理箱体2远离水洗组件一侧的底部，第一排液管4上设有第一止液阀6，预处理箱体2的前侧设有第一箱门7，第一箱门7上设有第一把手8。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津绿菱气体有限公司 四氟化硅尾气排空装置

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