申请/专利权人：芜湖长信科技股份有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220709540U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种光罩盒挡板开启辅助装置，包括安装板4，安装板4上端连接有驱动气缸6，驱动气缸6顶端连接有调节顶板5，安装板4上设有调节框架7，调节框架7上设有延伸杆8，延伸杆8一端设有滚轮9，采用本实用新型的光罩盒挡板开启辅助装置，方便光罩盒挡板打开、降低光罩供给故障率。

主权项：1.一种光罩盒挡板开启辅助装置，其特征在于：包括安装板4，所述安装板4上端连接有驱动气缸6，所述驱动气缸6顶端连接有调节顶板5，所述安装板4上设有调节框架7，所述调节框架7上设有延伸杆8，所述延伸杆8一端设有滚轮9。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芜湖长信科技股份有限公司 一种光罩盒挡板开启辅助装置

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