申请/专利权人：赛芈科技(上海)有限公司

申请日：2023-08-23

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220696377U

主分类号：B01F23/23

分类号：B01F23/23;B01F25/20;B01F35/21

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种微纳米气泡水的制作系统，包含：缓冲罐；混合模块，混合模块与缓冲罐、外部的气源、外部的水源相连，混合模块混合气源提供的气体和水源提供的水流形成微纳米气泡水，并将微纳米气泡水输送至缓冲罐；过滤模块，过滤模块与缓冲罐相连，过滤模块过滤微纳米气泡水并输出；控制模块，控制模块与混合模块电气连接，控制水流和气体的输送。本实用新型能够产生不同大小微纳米气泡水，气源种类可变，耗气量小，适用于多类晶圆的清洗工艺。

主权项：1.一种微纳米气泡水的制作系统，其特征在于，包含：缓冲罐；混合模块，所述混合模块与所述缓冲罐、外部的气源、外部的水源相连，所述混合模块混合所述气源提供的气体和所述水源提供的水流形成微纳米气泡水，并将所述微纳米气泡水输送至所述缓冲罐；过滤模块，所述过滤模块与所述缓冲罐相连，所述过滤模块过滤所述微纳米气泡水并输出；控制模块，所述控制模块与所述混合模块电气连接，控制所述水流和所述气体的输送。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 赛芈科技(上海)有限公司 微纳米气泡水的制作系统

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