申请/专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220703865U

主分类号：C30B29/36

分类号：C30B29/36;C30B23/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：一种带有特气控制系统的长晶设备，涉及碳化硅晶体生长技术领域，技术方案是：包括反应腔和用于向反应腔供气的进气管，还包括恒温组件，恒温组件包括换热管和换热器，换热管的两端分别与换热器的进口和出口连接。本技术方案的有益效果是：通过恒温柜、测温计、换热器和换热部的配合，能直接监控输送到恒温柜内特气的温度，再通过换热器和换热部，对输送的特气进行加热或者散热，使特气温度达到恒定可控，通过恒温室，输送到反应腔前的管路再进行保温处理，从而让特气温度更加稳定，同时设置第一输送管和第二输送管，当设备损坏或者维修时，可以随时更换管路，避免了出现故障的设备带病运行，保证了长晶设备的长期稳定运行。

主权项：1.一种带有特气控制系统的长晶设备，包括反应腔（1）和用于向反应腔供气的进气管（2），其特征在于：还包括恒温组件，恒温组件包括换热管（13）和换热器（6），换热管（13）的两端分别与换热器（6）的进口和出口连接，换热管（13）上连接有换热部（5），进气管（2）经过换热部（5）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东天岳先进科技股份有限公司 一种带有特气控制系统的长晶设备

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