申请/专利权人：FEI公司

申请日：2023-10-09

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810052A

主分类号：H01J37/18

分类号：H01J37/18;H01J37/26

优先权：["20220930 US 63/377751"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：本文描述了用于从透射电子显微镜TEM柱转移样本的系统和方法。在一个方面中，一种方法可包括：将定位在TEM样本保持器的保持器封壳中的样本从TEM的真空腔室转移到该TEM的负载锁中；用保护气体填充该负载锁；在该保护气体下密封该TEM样本保持器的该保持器封壳；以及从该负载锁移除该TEM样本保持器。

主权项：1.一种用于将样本转移出透射电子显微镜TEM的真空腔室的方法，包括：将定位在TEM样本保持器的保持器封壳中的所述样本从所述TEM的所述真空腔室转移到所述TEM的负载锁中；用保护气体填充所述负载锁；在所述保护气体下密封所述TEM样本保持器的所述保持器封壳；以及从所述负载锁移除所述TEM样本保持器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： FEI公司 用于转移样本的系统和方法

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