申请/专利权人:江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日:2024-01-03
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN117855333A
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L31/04;H01L31/0288
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开
摘要:本申请公开了一种电池的制备方法及电池的制备系统,该方法包括:在基片的第一表面依次形成氧化层、掺杂的非晶硅层;在基片第二表面上进行硼扩散,得到发射极,其中,第二表面与第一表面相背设置,且在进行硼扩散时,非晶硅层中的掺杂原子活化,以使掺杂的非晶硅层转变为掺杂的多晶硅层。本申请的所提供的方法能够减少工艺步骤,降低成本。
主权项:1.一种电池的制备方法,其特征在于,所述方法包括:在基片的第一表面依次形成氧化层、掺杂的非晶硅层;在所述基片第二表面上进行硼扩散,得到发射极,其中,所述第二表面与所述第一表面相背设置,且在进行所述硼扩散时,所述非晶硅层中的掺杂原子活化,以使所述掺杂的非晶硅层转变为掺杂的多晶硅层。
全文数据:
权利要求:
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