申请/专利权人：东莞市凯格精机股份有限公司

申请日：2024-01-02

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855133A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及固晶设备技术领域，具体公开一种柔性顶针机构及脱膜顶升组件，包括固定杆、沿轴向方向滑动安装于所述固定杆顶部的顶针组件、以及位于所述固定杆和所述顶针组件二者之间并驱使二者相互远离的缓冲弹簧。本发明提供的柔性顶针机构及脱膜顶升组件，能有效解决现有脱膜顶升机构容易损伤芯片的问题。

主权项：1.一种柔性顶针机构，其特征在于，包括固定杆1、沿轴向方向滑动安装于所述固定杆1顶部的顶针组件2、以及位于所述固定杆1和所述顶针组件2二者之间并驱使二者相互远离的缓冲弹簧3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市凯格精机股份有限公司 一种柔性顶针机构及脱膜顶升组件

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