申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-08-31

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117859200A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/67;H01J37/32

优先权：["20210902 US 63/240,250","20210903 US 63/240,433"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本文的本公开的实施例包括用于处理基板的设备。更具体地，本公开的实施例提供基板支撑组件，所述基板支撑组件包括静电卡盘ESC组件。ESC组件包括：冷却基底，所述冷却基底具有顶部表面和外直径侧壁；ESC，所述ESC具有基板支撑表面、底部表面和外直径侧壁，所述ESC的底部表面通过粘着层耦合至冷却基底的顶部表面。基板支撑组件包括阻挡环，所述阻挡环设置成围绕冷却基底与ESC的外直径侧壁，所述阻挡环屏蔽ESC的底部表面和冷却基底的顶部表面之间的接口。

主权项：1.一种基板支撑组件，包括：静电卡盘ESC组件，包括：冷却基底，所述冷却基底具有顶部表面和外直径侧壁；以及ESC，所述ESC具有基板支撑表面、底部表面和外直径侧壁，所述ESC的所述底部表面通过粘着层耦合至所述冷却基底的所述顶部表面；以及阻挡环，所述阻挡环设置成围绕所述冷却基底与所述ESC的所述外直径侧壁，所述阻挡环屏蔽所述ESC的所述底部表面和所述冷却基底的所述顶部表面之间的接口。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于减轻边缘电弧放电的可更换静电卡盘外环

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