申请/专利权人：中核建中核燃料元件有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848609A

主分类号：G01M3/20

分类号：G01M3/20

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及坩埚检漏领域，具体涉及一种坩埚氦质谱检漏装置,该装置包括：坩埚、氦质谱检漏仪、喷枪组件、密封罩、密封组件、校准漏孔、真空泵和真空管道。坩埚通过倒置在密封组件中间位置，密封罩设在密封组件上，密封组件和密封罩之间通过橡胶密封条；坩埚上端设有喷枪组件，喷枪组件贯穿密封罩的上端；坩埚内部设有校准漏孔，校准漏孔通过真空管道分别连接氦质谱检漏仪、真空泵和大气；真空泵设在密封组件下端，氦质谱检漏仪设在真空泵的侧面。本装置是通过检测氦气判断坩埚是否存在漏孔。氦气本身是无毒、无味、无污染且性质稳定的气体，氦气能更快的穿过漏洞且容易扩散，本装置检测的准确性很高，并且不会对操作人员身体造成伤害。

主权项：1.一种坩埚氦质谱检漏装置，其特征在于，所述装置包括：坩埚、氦质谱检漏仪、喷枪组件、密封罩、密封组件、校准漏孔、真空泵和真空管道。所述坩埚通过倒置在所述密封组件中间位置，所述密封罩设在所述密封组件上，所述密封组件和所述密封罩之间通过橡胶密封条；所述坩埚上端设有所述喷枪组件，所述喷枪组件贯穿密封罩的上端；所述坩埚内部设有所述校准漏孔，所述校准漏孔用于氦质谱仪的漏率校准，所述校准漏孔通过所述真空管道分别连接所述氦质谱检漏仪、真空充气阀和所述真空泵；所述真空泵设在密封组件下端，所述氦质谱检漏仪设在所述真空泵的侧面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中核建中核燃料元件有限公司 一种坩埚氦质谱检漏装置

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