申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117846985A

主分类号：F04D19/04

分类号：F04D19/04;F04D29/00;F04D29/08;F04D29/58

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及真空设备技术领域，其目的是提供一种分子泵。这种分子泵可对气体进行选择性压缩，能筛选出所需特定气体。上述分子泵包括：分子泵泵体和渗透膜，且分子泵泵体具有进气口和排气口；分子泵泵体内部设置有叶片级，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有拖动级，渗透膜设置于拖动级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有叶片级和拖动级，叶片级靠近进气口一侧，拖动级靠近排气口一侧，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁以及拖动级与分子泵泵体内壁之间。本发明解决了现有技术中的分子泵无法对气体进行选择性压缩，不能筛选出所需的特定气体的问题。

主权项：1.一种分子泵，其特征在于，包括：分子泵泵体1和渗透膜4，且所述分子泵泵体1具有进气口101和排气口102；所述分子泵泵体1内部设置有叶片级2，所述渗透膜4设置于所述叶片级2与所述分子泵泵体1内壁之间；或所述分子泵泵体1内部设置有拖动级3，所述渗透膜4设置于所述拖动级3与所述分子泵泵体1内壁之间；或所述分子泵泵体1内部设置有所述叶片级2和所述拖动级3，所述叶片级2靠近所述进气口101一侧，所述拖动级3靠近所述排气口102一侧，所述渗透膜4设置于所述叶片级2与所述分子泵泵体1内壁以及所述拖动级3与所述分子泵泵体1内壁之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵

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