申请/专利权人：盛奕半导体科技(无锡)有限公司

申请日：2024-01-03

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117839328A

主分类号：B01D46/00

分类号：B01D46/00;B01D46/42;B01D46/62

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明属于过滤设备技术领域，具体涉及一种半导体湿法设备反应腔用风扇过滤器，包括壳体，所述壳体的侧面开设有出风口；风扇模块；化学过滤器；高效过滤器；导风机构，所述导风机构设有一组，所述导风机构安装于壳体的内部，用于引导气流；开合机构，用于调节出风口的开闭。本发明能够通过侧面出风口出风，以适配空间不足的半导体湿法设备反应腔机台，提高过滤效率，且导风机构能够随风扇模块产生的气流强弱变化而调整导流角度，风力较小时也能将空气气流导向至高效过滤器的两端，提高过滤效率，且开合机构能够在风扇过滤器工作时自动打开出风口，未工作时自动关闭出风口，提高便捷性。

主权项：1.一种半导体湿法设备反应腔用风扇过滤器，其特征在于：包括：壳体1，所述壳体1的侧面开设有出风口11；风扇模块2，所述风扇模块2固定安装于壳体1的顶部；化学过滤器3，所述化学过滤器3固定安装于风扇模块2的顶部；高效过滤器4，所述高效过滤器4固定安装于壳体1的内部；导风机构5，所述导风机构5设有一组，所述导风机构5安装于壳体1的内部，用于引导气流；开合机构6，所述开合机构6安装于壳体1靠近出风口11的一端，用于调节出风口11的开闭；其中，所述风扇模块2动作后使空气由出风口11排出，所述导风机构5随气流的强弱改变而调整导流角度，使空气流向所述高效过滤器4的两端，所述开合机构6随气流的有无而调节出风口11的开闭。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 盛奕半导体科技(无锡)有限公司 一种半导体湿法设备反应腔用风扇过滤器

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