申请/专利权人：中山大学

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855301A

主分类号：H01L31/0304

分类号：H01L31/0304;H01L31/0216;H01L31/0352;H01L31/102;H01L31/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种波导型近弹道单行载流子光电探测器，由上至下依次为P型接触层、阻挡层、吸收层、耗尽吸收层、第一过渡层、第二过渡层、崖层、收集层、第三过渡层、电场承受层、N型接触层、稀释波导层、衬底，所述衬底的材料采用InP材料，所述收集层的材料采用InGaAsPQ1.3材料，所述电场承受层的材料采用InP材料。本发明提高了波导型高速NBUTC‑PD工作中的带宽性能，并进一步平滑收集层的导带。

主权项：1.一种波导型近弹道单行载流子光电探测器，其特征在于，由上至下依次为P型接触层、阻挡层、吸收层、耗尽吸收层、第一过渡层、第二过渡层、崖层、收集层、第三过渡层、电场承受层、N型接触层、稀释波导层、衬底，所述收集层的材料采用InGaAsPQ1.3材料，所述电场承受层的材料采用InP材料。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中山大学 一种波导型近弹道单行载流子光电探测器及其制备方法

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