申请/专利权人：普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司

申请日：2024-01-15

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117853464A

主分类号：G06T7/00

分类号：G06T7/00;G06V10/74;G06V10/764;G06V10/82;G06V10/80;G06V10/26;G06N3/0455;G06N3/0895

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种晶圆缺陷检测模型的建立方法、检测方法、设备及介质，所述晶圆缺陷检测模型的建立方法包括：获取晶圆图像；根据所述晶圆图像，分别确定粗粒度样本图像和细粒度样本图像；将所述粗粒度样本图像和细粒度样本图像，分别输入预先建立的粗粒度特征学习模型和细粒度特征学习模型，并分别输出粗粒度特征表示和细粒度特征表示；将所述粗粒度特征表示和细粒度特征表示进行特征融合，输出各类缺陷参数以及各类缺陷参数对应的权重。

主权项：1.一种晶圆缺陷检测模型的建立方法，其特征在于，包括：获取晶圆图像；根据所述晶圆图像，分别确定粗粒度样本图像和细粒度样本图像；将所述粗粒度样本图像和细粒度样本图像，分别输入预先建立的粗粒度特征学习模型和细粒度特征学习模型，并分别输出粗粒度特征表示和细粒度特征表示；将所述粗粒度特征表示和细粒度特征表示进行特征融合，输出各类缺陷参数以及各类缺陷参数对应的权重。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 普雷赛斯(苏州)智能科技有限公司 晶圆缺陷检测模型的建立方法、检测方法、设备及介质

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