申请/专利权人：璞璘科技(杭州)有限公司

申请日：2024-02-02

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117850161A

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种气压式纳米压印机自动脱模机构，包括主体支架，所述主体支架顶部设有聚合物模板，所述聚合物模板通过固定组件密封固定于所述主体支架的内侧壁，所述聚合物模板顶部设有压印腔，所述压印腔侧壁设有进气孔和出气孔，所述聚合物模板底部设有安装座，通过在压印完成后，一端的精密驱动电缸向下移动，使一侧的聚合物模板拉紧，当聚合物模板提供的拉力大于边缘接触位点脱模所需要的脱模力时，边缘接触位点处的聚合物模板与压印胶材开始分离，即点脱模开始，然后转变到线脱模，并从一端延伸到另一端，完成整个脱模过程，有效的解决了纳米压印脱模所需脱模力较大的难题，极大的延长了模板的使用寿命。

主权项：1.一种气压式纳米压印机自动脱模机构，包括主体支架（1），其特征在于：所述主体支架（1）顶部设有聚合物模板（7），所述聚合物模板（7）通过固定组件（8）密封固定于所述主体支架（1）的内侧壁，所述聚合物模板（7）顶部设有压印腔（4），所述压印腔（4）侧壁设有进气孔（5）和出气孔（6），所述聚合物模板（7）底部设有安装座（11），所述安装座（11）顶部设有压印组件，所述主体支架（1）底部对称设有用于带动所述安装座（11）升降的驱动组件（13），所述压印腔（4）顶部设有固化组件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 璞璘科技(杭州)有限公司 一种气压式纳米压印机自动脱模机构

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