申请/专利权人：上海鲲游科技有限公司

申请日：2023-08-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220773417U

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00;G02B5/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型提供了一种光栅压印母版，在基底上设置第一图形区域、第二图形区域，且第一图形区域被配置为围绕第二图形区域的周缘部设置，第二图形区域被配置为压印光栅结构，第一图形区域被配置为压印支撑结构，通过在光栅结构周缘部设置支撑结构，能够改变盖板和或波导片发生形变时盖板与波导片之间的接触方式，减少牛顿环现象的产生；实现了衍射光波导的光栅结构区和非结构区的一体化成形，有效地保证了光栅结构区与非结构区的相对位置精度，且通过一次压印即可在光栅结构区制备出光栅结构和非结构区制备出不同的支撑结构，一次成型降低工艺的难度，具有意料不到的技术效果。

主权项：1.一种光栅压印母版，其特征在于，包括基底，在基底上设置第一图形区域、第二图形区域，所述第一图形区域被配置为围绕所述第二图形区域的周缘部设置，所述第二图形区域被配置为压印光栅结构，所述光栅结构包括耦入光栅和耦出光栅，所述第一图形区域被配置为压印支撑结构，所述支撑结构的高度大于所述光栅结构的高度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海鲲游科技有限公司 一种光栅压印母版

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