申请/专利权人：山东大学

申请日：2024-03-01

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117891128A

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种主动力调制的微纳精度热压印装置及方法，所述装置包括上夹具和下夹具，所述上夹具上设置有压力控制系统，所述压力控制系统能够控制样品与上夹具之间的压力，且能够在保载阶段主动控制压力波动范围；所述上夹具和下夹具设置在加热腔内，所述加热腔与控温单元相连，所述控温单元控制加热腔处于设定的温度条件下；本发明通过设置的压力控制系统实现主动控制压印压力，可以在保载阶段主动控制压力波动范围，实现在一定的温度、压力和保载时间等工艺参数下进行热压印成型，既可以避免过高的操作成本，又可以实现高精度的复刻目标。

主权项：1.一种主动力调制的微纳精度热压印装置，其特征在于，包括上夹具和下夹具，所述上夹具上设置有压力控制系统，所述压力控制系统能够控制样品与上夹具之间的压力，且能够在保载阶段主动控制压力波动范围；所述上夹具和下夹具设置在加热腔内，所述加热腔与控温单元相连，所述控温单元控制加热腔处于设定的温度条件下。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山东大学 一种主动力调制的微纳精度热压印装置和方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD