申请/专利权人：扬州群发光芯科技有限公司

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117655823B

主分类号：B24B1/04

分类号：B24B1/04;B24B41/06;B24B55/00;B24B41/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本发明公开一种OPA芯片端面超声波抛光系统，涉及芯片加工技术领域；包括底座，底座上设置有超声波抛光箱和清洁箱；在底座上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座上的滑座，滑座上固定连接有安装架，安装架上旋转安装有转盘，转盘上升降滑动设置有定位架，定位架上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架上；通过定位架上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；在底座的一侧设置有转移件，用于对工件进行夹持转移；本发明能在一次加工处理作业中，对晶圆进行全区域抛光处理，省去多次安装操作，提高抛光作业效率。

主权项：1.一种OPA芯片端面超声波抛光系统，包括底座（1），底座（1）上设置有用于抛光处理的超声波抛光箱（5），以及用于清洁处理的清洁箱（6）；其特征在于：在底座（1）上设置有定位工装件，用于定位安装工件；定位工装件包括滑动安装在底座（1）上的滑座（4），滑座（4）上固定连接有安装架（7），安装架（7）上旋转安装有转盘（8），转盘（8）上升降滑动设置有定位架（14），定位架（14）上开设有呈圆形阵列布置的定位通孔；在定位架（14）的上下端面上分别设置有点位支撑件，点位支撑件呈圆形阵列布置在定位架（14）上；通过定位架（14）上下端面对应的点位支撑件对工件进行支撑定位；点位支撑件包括滑动安装在定位架（14）上的支撑滑座（24），支撑滑座（24）上固定连接有支撑安装架（26），支撑安装架（26）上旋转安装有支撑转盘（28），支撑转盘（28）的端面上固定连接有支撑球杆（29）；支撑转盘（28）在支撑安装架（26）上呈线性排列，且两个支撑转盘（28）之间旋转安装有联动齿轮（27），联动齿轮（27）分别与相邻的支撑转盘（28）构成齿轮副；在呈圆形排布布置的支撑滑座（24）上旋转安装有控制齿环（19），控制齿环（19）与位于内侧的支撑转盘（28）构成齿轮副；在定位架（14）的上下端面分别设置有辅助支撑件，辅助支撑件包括滑动安装在定位架（14）上的辅助连接架（17），辅助连接架（17）的一端设置有辅助支撑球杆（18），辅助支撑球杆（18）位于支撑转盘（28）、支撑球杆（29）的内侧；在底座（1）的一侧设置有转移件，用于对工件进行夹持转移；转移件包括滑动安装在底座（1）侧面的转移座（39），转移座（39）上滑动设置有夹持杆（41），通过夹持杆（41）对工件进行夹持转移；所述定位架（14）的上下端面上分别连接有安装筒（20），安装筒（20）顶部旋转设置有驱动齿轮（21）；在安装筒（20）的端面上还旋转设置有啮合齿轮（30），啮合齿轮（30）上设置有电磁夹筒（31），且啮合齿轮（30）呈圆形阵列布置在安装筒（20）的端面上，啮合齿轮（30）与驱动齿轮（21）构成齿轮副；所述安装筒（20）的外侧旋转安装有调节丝杆（23），且调节丝杆（23）朝向啮合齿轮（30）的一端位于电磁夹筒（31）的内侧，通过电磁夹筒（31）夹持调节丝杆（23）的端部，以使啮合齿轮（30）和调节丝杆（23）同步转动；在呈圆形阵列布置的支撑滑座（24）中，其中一个支撑滑座（24）上设置有防护密封电机（34），防护密封电机（34）的输出轴上连接有控制齿轮（35），控制齿轮（35）与控制齿环（19）构成齿轮副。

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