申请/专利权人：南京卓胜自动化设备有限公司

申请日：2024-02-04

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117690851B

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.29#实质审查的生效;2024.03.12#公开

摘要：本发明涉及一种硅片吸取移载机构，包括运动轨道、运动套、承载组件和摆放座；所述承载组件的下方安置有对接架和组件架，所述组件架下方安置有吸盘组件，所述吸盘组件的拐角安置有气嘴，所述摆放座的边缘表面安置有承载架；所述对接架和组件架之间安置有对接模块一和对接模块二，所述对接模块一组装在对接架的侧边表面。依靠对接座一的下半段按压对称分布的阻隔座，致使对称分布的阻隔座联动联动座进行旋转，依靠牙纹二与牙纹一之间的咬合关系，能够辅助对接座一的下半段继续下降，在对接座一下降到指定位置，阻隔座将联动座进行限制，此时利用牙纹二与牙纹一的咬合传动关系，能够在一层作用下防止对接座一脱离或松动于对接室二。

主权项：1.一种硅片吸取移载机构，其特征在于：包括运动轨道（100）、运动套（101）、承载组件（102）和摆放座（200）；所述承载组件（102）的下方安置有对接架（103）和组件架（104），所述组件架（104）下方安置有吸盘组件（105），所述吸盘组件（105）的拐角安置有气嘴（106），所述摆放座（200）的边缘表面安置有承载架（201）；所述对接架（103）和组件架（104）之间安置有对接模块一（300）和对接模块二（400），所述对接模块一（300）组装在对接架（103）的侧边表面，所述对接模块二（400）组装在组件架（104）的上方表面，所述对接模块一（300）主要由对接座一（310）和衔接件（320）组成，所述衔接件（320）处在对接座一（310）的上方表面，且两者之间的连接关系为固联，衔接件（320）与对接架（103）依靠紧固件进行对接，所述对接座一（310）的中段边侧安置有对称分布的牙纹一（311）；所述对接模块二（400）主要由对接座二（410）以及对接通道（420）组成，所述对接通道（420）铣设在对接座二（410）的表面，所述对接通道（420）作用为对接座二（410）与组件架（104）的对接件，所述对接座二（410）的表面预留有对接室一（411），所述对接座二（410）的中部预留有对接室二（412），其中对接室一（411）与对接室二（412）为贯通的连接关系，所述对接室一（411）的左、右间距与牙纹一（311）左、右两极端之间的距离相匹配；所述对接室二（412）中安置有联动座（500），所述联动座（500）上半段的外周壁呈阵列的方式分布有牙纹二（501），所述牙纹二（501）呈扇形分布；所述联动座（500）的上半段中心轴处铰接有联动筒（502），所述联动筒（502）处在牙纹二（501）的旋转轴处，所述联动筒（502）与对接室二（412）的边侧铰接，对接座一（310）在嵌入对接室二（412）中时，牙纹二（501）与牙纹一（311）之间咬合，使对接座一（310）在对接室二（412）中完全对接。

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