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【发明授权】高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法_国立大学法人长冈技术科学大学;极光先进雷射株式会社_201980091035.1 

申请/专利权人:国立大学法人长冈技术科学大学;极光先进雷射株式会社

申请日:2019-03-26

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN113383468B

主分类号:H01S3/097

分类号:H01S3/097

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.09#授权;2022.02.25#实质审查的生效;2021.09.10#公开

摘要:高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压,该高电压脉冲产生装置具有:n个变压器芯,它们构成变压器,n为2以上的自然数;变压器的n个一次侧电路,n个一次侧电路分别包含与基准电位连接的第1端子和与充电器连接的第2端子,并且包含至少1个一次侧线圈、与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个二极管、和与至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个脉冲产生部;以及变压器的二次侧电路,其包含二次侧线圈,所述二次侧电路与一对放电电极连接。

主权项:1.一种高电压脉冲产生装置,其对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压,其中,所述高电压脉冲产生装置具有:n个变压器芯,它们构成变压器,n为2以上的自然数;所述变压器的n个一次侧电路,所述n个一次侧电路分别包含与基准电位连接的第1端子和与充电器连接的第2端子,并且包含至少1个一次侧线圈、与所述至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个二极管、和与所述至少1个一次侧线圈并联连接的至少1个脉冲产生部;以及所述变压器的二次侧电路,其包含二次侧线圈,所述二次侧电路与所述一对放电电极连接,所述至少1个脉冲产生部分别包含电容器和与所述电容器串联连接的开关,在所述电容器与所述开关之间连接有充电器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 国立大学法人长冈技术科学大学;极光先进雷射株式会社 高电压脉冲产生装置、气体激光装置和电子器件的制造方法

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