买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【发明授权】涂布系统_蒸汽技术公司_201910961722.6 

申请/专利权人:蒸汽技术公司

申请日:2019-10-11

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN111088472B

主分类号:C23C14/04

分类号:C23C14/04;C23C14/32;C23C14/35

优先权:["20181024 US 16/169,777"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.09#授权;2021.10.15#实质审查的生效;2020.05.01#公开

摘要:一种涂布系统,包含涂布室,该涂布室具有外围室壁、顶壁和底壁。该外围室壁限定室中心。等离子体源定位在该室中心处。该涂布系统还包含固持多个待涂布基板的样品保持器,该样品保持器可在距该室中心的第一距离处绕该室中心旋转。第一隔离屏蔽件绕该室中心定位在距该室中心的第二距离处,该第一隔离屏蔽件带负电荷。

主权项:1.一种涂布系统,其包括:涂布室,所述涂布室具有外围室壁、顶壁和底壁,所述外围室壁限定室中心;等离子体源,所述等离子体源定位在所述室中心处;样品保持器,所述样品保持器固持多个待涂布基板,所述样品保持器能够在距所述室中心的第一距离处绕所述室中心旋转;以及第一隔离屏蔽件,所述第一隔离屏蔽件相对于所述室中心定位在距所述室中心的第二距离处,所述第一隔离屏蔽件带负电荷,其中所述第二距离大于所述第一距离。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 蒸汽技术公司 涂布系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。