申请/专利权人：IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学

申请日：2019-11-15

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN111352295B

主分类号：G03F1/64

分类号：G03F1/64

优先权：["20181220 EP 18214565.6"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.12.31#实质审查的生效;2020.06.30#公开

摘要：一种保护光掩模210的方法100。该方法包括：提供110光掩模210，提供120边框220，在边框220上沉积130至少两个电触头230，将包含碳纳米管的膜240安装140在边框220上，以使所述膜240包含自立部分，其中在安装140和沉积130步骤之后，电触头230与膜240接触，通过偏置至少一对电触头230，诱导150电流通过膜240的自立部分，从而获得通过膜240的自立部分的电流，将边框220安装170在光掩模210的至少一侧上，使膜的自立部分在光掩模210上方。

主权项：1.一种保护光掩模的方法，所述方法包括：-提供光掩模，-提供边框，-在边框上沉积至少两个电触头，-将包含碳纳米管的膜安装在边框上，以使所述膜包含自立部分，-其中在安装和沉积步骤之后，电触头与膜接触，-通过偏置至少一对电触头，诱导电流通过膜的自立部分，-将边框安装在光掩模的至少一侧上，使膜的自立部分在光掩模上方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： IMEC非营利协会;鲁汶天主教大学 EUV防尘薄膜张紧的诱导应力

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