申请/专利权人：湖南德智新材料有限公司

申请日：2024-02-06

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117702082B

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C14/22;F27D3/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本申请涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法，以解决气相沉积设备通过机械手臂将工件送入子炉体的炉膛中，结构复杂，运送工件时稳定性差，并需要较大的工作空间的问题。该炉体组件中，第一驱动结构和送料平台可以自动运送待沉积件，通过第一驱动单元驱动第一长齿轮旋转，第一长齿轮与第一齿轮组件啮合，使得第一齿轮组件被驱动，从而带动第一滚轮组件滚动，进而将待沉积件送入炉膛中，通过齿轮传动和滚轮滚动的方式进行送料，结构简单、紧凑、可靠性高，传动更加平稳，从而使得缓存的待沉积件可以更加平稳地被送入炉膛中，提高了炉体组件结构的紧凑性、可靠性、运行的稳定性，节省了炉体组件占用的空间。

主权项：1.一种炉体组件，其特征在于，应用于气相沉积设备，被配置为容纳待沉积件，对所述待沉积件进行气相沉积，得到已沉积件，所述炉体组件包括：多个子炉体，多个所述子炉体沿竖直方向层叠设置，其中，所述子炉体包括第一炉门和具有炉膛的子本体，通过关闭或打开所述第一炉门来封闭或暴露所述炉膛，其中，在所述待沉积件在所述炉膛中进行气相沉积的情况下，所述第一炉门处于关闭状态，在所述待沉积件在所述炉膛中完成气相沉积成为所述已沉积件的情况下，所述第一炉门被打开；送料平台，被配置为缓存所述待沉积件，其中，在所述第一炉门被打开的情况下，所述送料平台将所述待沉积件送入所述炉膛；第一驱动结构，与所述送料平台连接，被配置为驱动所述送料平台升降，以将所述送料平台驱动至多个所述子炉体中的已被打开所述第一炉门的所述子炉体所在的高度或即将被打开所述第一炉门的所述子炉体所在的高度；其中，所述送料平台包括：送料平台本体，所述送料平台本体具有第一通孔；第一滚轮组件，由所述送料平台本体的下表面穿过所述第一通孔并凸出所述送料平台本体的上表面，在所述送料平台上缓存有所述待沉积件的情况下，所述第一滚轮组件受到所述待沉积件施加的压力，并在所述第一炉门被打开的情况下，所述第一滚轮组件通过滚动来带动所述待沉积件运动，以将所述待沉积件送入所述炉膛；所述第一驱动结构包括：第一驱动单元、以及与所述第一驱动单元连接的第一长齿轮，所述第一长齿轮竖直设置；其中，所述送料平台还包括第一齿轮组件，所述第一齿轮组件与所述第一长齿轮啮合设置，并与所述第一滚轮组件连接，所述第一驱动结构被配置为驱动所述第一长齿轮旋转，以驱动所述第一齿轮组件带动所述第一滚轮组件滚动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南德智新材料有限公司 炉体组件、气相沉积设备、以及气相沉积方法

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