申请/专利权人：吉林大学

申请日：2021-11-18

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN114057158B

主分类号：B81C1/00

分类号：B81C1/00;H02N2/02;H02N2/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2022.03.08#实质审查的生效;2022.02.18#公开

摘要：本发明涉及一种利用粘滑驱动回退现象实现表面复合微纳结构加工的方法，属于表面微纳结构加工领域。在划痕过程中，将粘滑压电驱动器作为划痕方向的驱动装置，利用粘滑压电驱动器的回退现象使材料在划痕过程中发生堆积，进而在划痕产生的微沟槽结构表面生成周期性的栅状二级结构，即复合微纳结构；通过X‑Y电机平台的运动使相邻两条划痕搭接，实现大面积复合微纳结构的加工。本发明操作简单、加工效率高，通过调节粘滑压电驱动器的驱动电压可获得不同尺寸的表面复合微纳结构，一方面实现了粘滑驱动回退现象的有效利用，另一方面为表面复合微纳结构的加工提供了新思路。

主权项：1.一种利用粘滑驱动回退现象实现表面复合微纳结构加工的方法，其特征在于：在划痕过程中，将粘滑压电驱动器作为划痕方向的驱动装置，利用粘滑压电驱动器的回退现象使材料在划痕过程中发生堆积，进而在划痕产生的微沟槽结构表面生成周期性的栅状二级结构，即复合微纳结构；通过X-Y电机平台的运动使相邻两条划痕搭接，实现大面积复合微纳结构的加工，具体包括以下步骤：步骤一、将粘滑压电驱动器（3）集成到纳米划痕仪（1）中，并将预先清洁的待加工试件（2）安装到粘滑压电驱动器（3）上，调控纳米划痕仪（1）的压头下压到设定载荷；步骤二、设置粘滑压电驱动器（3）的驱动波形参数，启动粘滑压电驱动器（3）沿X方向运动，使其进行表面复合微纳结构加工；步骤三、使用X-Y电机平台（4）进行Y方向运动，然后再启动粘滑压电驱动器（3）沿X方向进行表面复合微纳结构的加工，实现划痕的搭接，进而实现大面积表面复合微纳结构加工。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 利用粘滑驱动回退现象实现表面复合微纳结构加工的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD