申请/专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所

申请日：2024-01-17

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117607489B

主分类号：G01P15/12

分类号：G01P15/12;G01P15/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明属于加速度传感器技术领域。本发明提供一种压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器。敏感结构包括框架和敏感单元，框架形成有第一容置空间，敏感单元设置于第一容置空间内。敏感单元包括质量块、第一支撑梁和第二支撑梁。质量块具有主体以及固定至主体的凸部；第一支撑梁和第二支撑梁的一端分别连接至质量块的主体的第一纵向位置和第二纵向位置；其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向，质量块的凸部的延伸方向与第一支撑梁、第二支撑梁的延伸方向平行；质量块在加速度作用下对第一支撑梁和第二支撑梁产生作用力。有利于提高敏感结构的抗冲击能力、横向抗干扰能力。可充分利用空间位置，从而减小敏感结构的体积。

主权项：1.一种压阻式加速度传感器的敏感结构，其特征在于，包括：框架，所述框架形成有第一容置空间；敏感单元，所述敏感单元设置于所述第一容置空间内，所述敏感单元包括：质量块，所述质量块具有主体以及凸出于所述主体相对两侧的两个凸部；两个第一支撑梁，所述第一支撑梁的一端连接至所述质量块的主体的第一纵向位置，另一端连接至所述框架；两个第二支撑梁，所述第二支撑梁的一端连接至所述质量块的主体的第二纵向位置，另一端连接至所述框架；及应变电阻，所述应变电阻设置于所述第一支撑梁；其中，质量块的纵向为质量块的敏感方向，所述第一纵向位置和所述第二纵向位置为不同的纵向位置；所述质量块的凸部的延伸方向与所述第一支撑梁、所述第二支撑梁的延伸方向平行；所述质量块在加速度作用下对所述第一支撑梁和所述第二支撑梁产生作用力；所述主体相对两侧分别设置一个所述第一支撑梁和一个所述第二支撑梁，且一侧的所述第一支撑梁与另一侧的所述第二支撑梁相对设置；所述第一支撑梁的刚性大于所述第二支撑梁的刚性，所述第一支撑梁的宽度大于所述第二支撑梁的宽度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国工程物理研究院电子工程研究所 压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器

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