申请/专利权人：浙江欣奕华智能科技有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753388U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及晶圆输送技术领域，公开了一种水槽输送装置，该水槽输送装置包括装置本体、水槽输送单元及机械臂单元，水槽输送单元包括设置于装置本体的动力组件，动力组件用于水槽在目标工位与装置本体之间的输送；机械臂单元包括设置于装置本体的机械臂，机械臂用于搬运晶圆盒；装置本体包括晶圆盒中转部。该水槽输送装置改善了人工将盛装有晶圆盒的水槽由清洗设备搬运至其他工序转移效率较低的问题。

主权项：1.一种水槽输送装置，其特征在于，包括：装置本体、水槽输送单元及机械臂单元，所述水槽输送单元包括设置于所述装置本体的动力组件，所述动力组件用于水槽在目标工位与所述装置本体之间的输送；所述机械臂单元包括设置于所述装置本体的机械臂，所述机械臂用于搬运晶圆盒；所述装置本体包括晶圆盒中转部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江欣奕华智能科技有限公司 一种水槽输送装置

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