申请/专利权人:深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日:2023-08-02
公开(公告)日:2024-04-09
公开(公告)号:CN220754001U
主分类号:H01S3/10
分类号:H01S3/10;H01S3/101
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.09#授权
摘要:本申请提供了一种激光功率调节装置及激光器,激光功率调节装置包括第一偏振转换件;偏振片,设于第一偏振转换件的出光光路上,用于接收经第一偏振转换件输出的激光光束,并将激光光束分成垂直方向上的第一偏振光与水平方向上的第二偏振光;驱动机构,用于驱动第一偏振转换件旋转;脉宽调节机构,设于偏振片的反射光路上,用于调节第一偏振光的脉宽,还用于将第一偏振光的偏振方向由垂直方向转变成水平方向,以使水平方向的第一偏振光射入偏振片后能够从偏振片透射出以形成工作激光。本申请提供的激光功率调节装置,实现激光功率的精确调节,同时对工作激光的脉宽进行调节,提高了光路的重复利用率,结构更加紧凑,有利于节省空间。
主权项:1.一种激光功率调节装置,其特征在于,包括:第一偏振转换件,用于接收激光单元发射的激光光束;偏振片,设置于所述第一偏振转换件的出光光路上,用于接收经所述第一偏振转换件输出的激光光束,并将所述激光光束分成垂直方向上的第一偏振光与水平方向上的第二偏振光;驱动机构,用于驱动所述第一偏振转换件旋转,以使所述第一偏振光与所述第二偏振光的分量发生偏振态变化;以及,脉宽调节机构,设置于所述偏振片的反射光路上,用于调节所述第一偏振光的脉宽,还用于将所述第一偏振光的偏振方向由垂直方向转变成水平方向,以使水平方向的所述第一偏振光射入所述偏振片后能够从所述偏振片透射出以形成工作激光。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 深圳市大族半导体装备科技有限公司 激光功率调节装置及激光器
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