申请/专利权人：安徽诺益科技有限公司

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220751503U

主分类号：G01M3/20

分类号：G01M3/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开一种薄型硅片的检漏装置，涉及硅片检测技术领域，包括由下至上依次设置的氦质谱检漏仪、抽空检漏组件、喷氦组件与伸缩设备；所述抽空检漏组件对硅片进行定位，且所述抽空检漏组件连通氦质谱检漏仪，所述伸缩设备用于推动喷氦组件竖向移动，所述喷氦组件向下移动与固定在抽空检漏组件的硅片密封贴合时，压紧密封硅片，所述喷氦组件喷氦检漏，通过所述氦质谱检漏仪是否有检测到氦气而判定硅片是否有漏孔；本实用新型通过氦检系统检漏，可快速以及准确的检测硅片上是否有漏点，并且不破坏工件的性能。

主权项：1.一种薄型硅片的检漏装置，其特征在于：包括由下至上依次设置的氦质谱检漏仪、抽空检漏组件、喷氦组件与伸缩设备；所述抽空检漏组件对硅片进行定位，且所述抽空检漏组件连通氦质谱检漏仪，所述伸缩设备用于推动喷氦组件竖向移动，所述喷氦组件向下移动与固定在抽空检漏组件的硅片密封贴合时，压紧密封硅片，所述喷氦组件喷氦检漏，通过所述氦质谱检漏仪是否有检测到氦气而判定硅片是否有漏孔。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽诺益科技有限公司 一种薄型硅片的检漏装置

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