申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请日：2023-08-17

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220752515U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;B65H20/12;G02F1/13

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及直写光刻技术领域，具体公开了一种自动拉料装置、直写曝光机，所述自动拉料装置包括基座以及分别设置在基座上的放料端拉料机构与收料端拉料机构，其中放料端拉料机构放置于曝光机的放料端，用于吸附待加工的PET膜，并带动PET膜沿着既定方向移动；收料端拉料装置放置于曝光机的收料端，用于将经过曝光机曝光的PET膜移出曝光区。本实用新型通过将放料端拉料机构与收料端拉料机构集成到曝光机内部，在完成曝光的同时，能自主实现拉料，解决了现有技术中采用柱形隔垫物方式形成液晶显示器的液晶层时，大多是在曝光设备之外单独设计拉料装置，存在不仅增加了成本，也为整线增大了尺寸的问题，具有广阔的市场前景。

主权项：1.一种自动拉料装置，包括基座，其特征在于，所述自动拉料装置还包括分别设置在所述基座上的放料端拉料机构10与收料端拉料机构20，其中：所述放料端拉料机构10放置于曝光设备的放料端，用于吸附待加工的PET膜30，并带动PET膜30沿着既定方向移动；所述收料端拉料机构20放置于曝光设备的收料端，用于将经过曝光设备曝光的PET膜30移出曝光区。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 一种自动拉料装置、直写曝光机

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