申请/专利权人：宜宾英发德耀科技有限公司

申请日：2023-08-29

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753380U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/66;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及硅片检测领域，尤其涉及一种制绒来料水汽处理的设备。包括支架，所述支架的上端固定连接有台面，所述台面的上表面放置有硅片，所述台面的上表面设有辅助结构，所述辅助结构包括固定架，所述固定架与台面固定连接，所述硅片的上端设置有回风抽气管，所述回风抽气管与固定架固定连接，所述回风抽气管的内壁固定连接有两个滑轨，所述滑轨的内壁滑动连接有滑块，所述滑轨的内部转动连接有螺杆，所述螺杆与滑块螺纹连接，所述滑块远离滑轨的一侧固定连接有电推杆，所述电推杆的输出端固定连接有挤压板。本实用新型提供的一种制绒来料水汽处理的设备具有可以方便对硅片上的水汽进行检测，也可以对检测试纸进行检测的优点。

主权项：1.一种制绒来料水汽处理的设备，其特征在于，包括：支架1，所述支架1的上端固定连接有台面2，所述台面2的上表面放置有硅片3，所述台面2的上表面设有辅助结构4，所述辅助结构4包括固定架401，所述固定架401与台面2固定连接，所述硅片3的上端设置有回风抽气管403，所述回风抽气管403与固定架401固定连接，所述回风抽气管403的内壁固定连接有两个滑轨413，所述滑轨413的内壁滑动连接有滑块405，所述滑轨413的内部转动连接有螺杆410，所述螺杆410与滑块405螺纹连接，所述滑块405远离滑轨413的一侧固定连接有电推杆408，所述电推杆408的输出端固定连接有挤压板406，两个所述挤压板406之间设置有检测试纸404，所述螺杆410的上端固定连接有把杆411，所述回风抽气管403的圆弧面固定连接有回风塑胶壁402，所述回风塑胶壁402自带动力抽风系统。

全文数据：

权利要求：

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