申请/专利权人：东佑达奈米系统股份有限公司

申请日：2023-09-11

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220741083U

主分类号：B25H1/14

分类号：B25H1/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑轨单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元。所述基座单元具有底端面、顶端面及两个侧端面，所述滑轨单元包括一对导轨及至少一对滑块，所述滑台单元具有底座、顶座及两个侧座，所述底座具有底侧面及第一导气道组。对所述第一导气道组供气，能使所述底侧面与所述平台单元的顶面之间产生气膜。所述第一驱动单元能驱动所述基座单元相对于所述平台单元产生线性移动，所述第二驱动单元能驱动所述滑台单元相对于所述基座单元产生线性移动。整体配合能达到精密移动及加工目的。

主权项：1.一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑轨单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元，其特征在于：所述平台单元，包括顶面；所述基座单元，沿横轴向延伸且能滑动的设置于所述平台单元，并具有与所述顶面相对且呈间隔设置的底端面、相反于所述底端面的顶端面，以及两个相交连接于所述底端面与所述顶端面的侧端面；所述滑轨单元，包括一对安装于所述顶面且沿垂直于所述横轴向的长轴向延伸的导轨，以及至少一对安装于所述基座单元的底端面且分别能滑动的嵌套于所对应的导轨的滑块；所述滑台单元，能滑动的套设于所述基座单元，并具有介于所述基座单元与所述平台单元之间的底座、设置于所述基座单元上方的顶座，以及两个连接于所述底座与所述顶座之间的侧座，所述底座具有相对于所述顶面的底侧面，以及连通所述底侧面的第一导气道组，当对所述第一导气道组供气，能使所述底侧面与所述顶面之间产生气膜；所述第一驱动单元，设置于所述平台单元与所述基座单元，且能驱动所述基座单元与所述滑台单元相对于所述平台单元沿所述长轴向产生线性移动；所述第二驱动单元，设置于所述基座单元与所述滑台单元，且能驱动所述滑台单元相对于所述基座单元沿所述横轴向产生线性移动。

全文数据：

权利要求：

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