申请/专利权人：中科见微智能装备(苏州)有限公司

申请日：2023-09-07

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220738851U

主分类号：B08B7/00

分类号：B08B7/00;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/94

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型公开了一种半导体器件表面瑕疵异物检测处理设备，包括平台底座、设置在所述平台底座上的产品放置台、载体放置台以及容器，对应所述产品放置台设置有CCD图像识别模组，所述CCD图像识别模组用于移动到所述产品放置台上获取每一半导体器件的表面图像；所述平台底座上方还设置有载体自动拾取模组，用于从所述载体放置台上拾取除尘载体后在容器内蘸取吸附溶液，将蘸取吸附溶液后的除尘载体与所述半导体器件表面的瑕疵异物进行接触；当所述瑕疵异物被所述吸附溶液融合或者溶解后，驱动所述除尘载体复位并更换新的除尘载体。本申请采用图像识别和吸附溶解方式，溶解后利用溶解液内部分子的张力将异物带走，既能清除物品表面异物，还能避免物品表面损伤或二次污染。

主权项：1.一种半导体器件表面瑕疵异物检测处理设备，其特征在于，包括平台底座、设置在所述平台底座上的产品放置台、载体放置台以及容器，对应所述产品放置台设置有CCD图像识别模组，所述CCD图像识别模组用于移动到所述产品放置台上获取每一半导体器件的表面图像；所述平台底座上方还设置有载体自动拾取模组，用于从所述载体放置台上拾取除尘载体后在容器内蘸取吸附溶液，将蘸取吸附溶液后的除尘载体与所述半导体器件表面的瑕疵异物进行接触；当所述瑕疵异物被所述吸附溶液融合或者溶解后，驱动所述除尘载体复位并更换新的除尘载体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中科见微智能装备(苏州)有限公司 半导体器件表面瑕疵异物检测处理设备

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