申请/专利权人：康宁股份有限公司

申请日：2022-06-23

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117836674A

主分类号：G02B1/115

分类号：G02B1/115;G02B1/14

优先权：["20210702 US 63/217,967"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.05#公开

摘要：描述了一种制品，其包含：基板，具有相对的主表面；以及光学膜结构，与第一主表面直接接触且包括自约50nm至小于500nm的物理厚度；高折射率RI及低RI层，具有直接位于所述第一主表面上的第一低RI层；以及顶盖低RI层。所述高及低RI层总共三3层至九9层，其中每个低RI层及所述顶盖低RI层包括含硅氧化物，且每个高RI层包括含硅氮化物或氮氧化物。所述制品表现出在≥约50nm的压痕深度上测量的8GPa或更大的Berkovich最大硬度。所述制品在0°入射时表现出在自840至860nm及自930至950nm的红外波长下＞85％的双侧平均透射率。

主权项：1.一种制品，包括：基板，包括相对的主表面，所述主表面包含第一主表面及第二主表面；以及光学膜结构，与所述基板的所述第一主表面直接接触，所述光学膜结构包括自约50nm至小于500nm的物理厚度；多个交替的高折射率RI及低RI层，具有直接位于所述第一主表面上且与所述第一主表面接触的第一低RI层；以及顶盖低RI层，其中所述顶盖低RI层及所述多个交替的高RI及低RI层总共三3层至九9层，其中每个低RI层及所述顶盖低RI层包括含硅氧化物，且每个高RI层包括含硅氮化物或含硅氮氧化物，其中所述制品表现出在约50nm或更大的压痕深度上测量的8GPa或更大的最大硬度，所述最大硬度由Berkovich压头硬度测试测量，且另外其中所述制品在0°入射时表现出在自840nm至860nm的红外波长下大于85％且在自930nm至950nm的红外波长下大于85％的双侧平均透射率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 康宁股份有限公司 具有带延伸红外透射的薄、耐久性抗反射涂层的制品

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