申请/专利权人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117824235A

主分类号：F25D3/10

分类号：F25D3/10;F25D17/02;F25D29/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本申请提供了一种液氮汽化器冷量回收系统、方法、设备及介质，系统包括液氮储罐，所述液氮储罐用于存储液态氮；汽化器，所述汽化器与所述液氮储罐连接，用于将液态氮转换为气态氮，并在此过程中产生冷量；冷却水循环模块，所述冷却水循环模块设置在所述汽化器周围，用于吸收所述汽化器在汽化液氮过程中产生的冷量；冷却塔，所述冷却塔与所述冷却水循环模块连接，用于接收冷却水并将其冷却水冷却至预设温度后回送至冷却机。本系统利用了高效的热交换机制，使冷却水循环模块能够最大化地吸收汽化器在液氮气化过程中释放的冷量，这样不仅提高了冷却水的温度管理效率，还减少了因环境热量损失导致的能量浪费。

主权项：1.一种液氮汽化器冷量回收系统，其特征在于，所述系统包括：液氮储罐，所述液氮储罐用于存储液态氮；汽化器，所述汽化器与所述液氮储罐连接，用于将液态氮转换为气态氮，并在此过程中产生冷量；冷却水循环模块，所述冷却水循环模块设置在所述汽化器周围，用于吸收所述汽化器在汽化液氮过程中产生的冷量；冷却塔，所述冷却塔与所述冷却水循环模块连接，用于接收冷却水并将其冷却水冷却至预设温度后回送至冷却机。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 一种液氮汽化器冷量回收系统、方法

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