申请/专利权人：中国科学技术大学

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117821902A

主分类号：C23C14/08

分类号：C23C14/08;C23C14/28;C30B29/22;C30B25/00;C30B33/02;C23C14/35;C23C14/58

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明提供了一种高性能水溶性牺牲材料及其制备方法与应用，所述水溶性牺牲材料化学式为A2B2Al2O7或M4Al2O7；其中A为Ca、Ba中的一种；B为Sr；M为Ca、Sr、Ba中的一种。本发明是Ca,Sr,Ba4Al2O7体系的水溶性牺牲材料，在制备自支撑薄膜具有很好的普适性；本发明的水溶性牺牲层具有较高的结晶度、表面平整，为后续目标薄膜的高质量生长提供了优异的平台；本发明的水溶性牺牲材料能够在许多衬底上高质量外延生长，因此获得高结晶度和高完整性的自支撑薄膜。

主权项：1.一种高性能水溶性牺牲材料，其特征在于，所述水溶性牺牲材料化学式为A2B2Al2O7或M4Al2O7；其中A为Ca、Ba中的一种；B为Sr；M为Ca、Sr、Ba中的一种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学技术大学 一种高性能水溶性牺牲材料及其制备方法与应用

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