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【实用新型】旋转式炉门装置和氧化炉设备_浙江求是半导体设备有限公司_202321908782.X 

申请/专利权人:浙江求是半导体设备有限公司

申请日:2023-07-19

公开(公告)日:2024-04-05

公开(公告)号:CN220728920U

主分类号:F27D1/18

分类号:F27D1/18;F27D21/00;F27B17/00

优先权:["20230717 CN 2023218818512"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.05#授权

摘要:本实用新型提供一种旋转式炉门装置和氧化炉设备。所述旋转式炉门装置包括基座、升降座、传动轮、驱动轮和炉门组件,升降座与基座间隔排布,且升降座可沿第一方向移动,传动轮设在升降座和基座之间,驱动轮与传动轮传动相连,以驱动传动轮绕第一方向转动,炉门组件设在升降座上并与传动轮相连,以使炉门组件可在传动轮的驱动下绕第一方向转动。本实用新型的旋转式炉门装置设置驱动轮与传动轮传动相连,以驱动传动轮和炉门组件绕第一方向转动,驱动轮与传动轮传动相连的传动结构具有较低的高度尺寸,使基座和升降座之间的最短距离更小,因此旋转式炉门装置的结构紧凑,具有更小的体积,能够适用于更多种的安装空间。

主权项:1.一种旋转式炉门装置,其特征在于,包括:基座7;升降座1,所述升降座1和所述基座7在第一方向上间隔排布,所述升降座1相对于所述基座7可沿所述第一方向移动;传动轮2,所述传动轮2设在所述升降座1上,并位于所述升降座1和所述基座7之间,所述传动轮2相对于所述升降座1可绕所述第一方向转动;驱动轮3,所述驱动轮3与所述传动轮2传动相连,以驱动所述传动轮2绕所述第一方向转动;炉门组件4,所述炉门组件4设在所述升降座1上,并与所述传动轮2相连,以使所述炉门组件4可在所述传动轮2的驱动下相对于所述升降座1绕所述第一方向转动。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江求是半导体设备有限公司 旋转式炉门装置和氧化炉设备

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