申请/专利权人：华东理工大学

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN220729506U

主分类号：G01L1/16

分类号：G01L1/16;G01L1/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.05#授权

摘要：本实用新型提供了一种双模压力传感单元、双模压力传感阵列与双模压力传感器，该双模压力传感单元由上至下包括依次层叠设置的第一电极层、压阻材料层、中间电极层、压电材料层和第二电极层；压阻材料层和压电材料层的表面积大于第一电极层、中间电极层和第二电极层的表面积。本实用新型中的双模压力传感单元同时包括压电材料层和压阻材料层，能基于双重原理工作，集合了压电式压力传感器和压阻式压力传感器的优点，响应速度快，既适合检测静态压力值的大小，又适合检测动态压力的变化趋势，能满足复杂应用场景的需要。

主权项：1.一种双模压力传感单元，其特征在于，所述双模压力传感单元由上至下包括依次层叠设置的第一电极层、压阻材料层、中间电极层、压电材料层和第二电极层；所述压阻材料层和所述压电材料层的表面积大于所述第一电极层、所述中间电极层和所述第二电极层的表面积。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华东理工大学 双模压力传感单元、双模压力传感阵列与双模压力传感器

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