申请/专利权人：西安电子科技大学;西安电子科技大学杭州研究院

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870534A

主分类号：G01B9/02

分类号：G01B9/02;G01B9/02015;G01B9/02001;G01B9/02055;G01B9/04;G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及一种光学显微成像测量系统及方法，具体涉及一种基于LED照明的双波长动态全息显微成像系统与方法。解决了现有基于LED的双波长部分相干光栅离轴数字全息显微系统存在空间带宽低、成像效率受限的技术问题。本发明系统包括光源模块、第一干涉支路、第二干涉支路和成像模块；光源模块包括第一分光棱镜、LED照明光路和激光照明光路；LED照明光路和激光照明光路的光共同射入第一分光棱镜形成合束光再进行反射和透射；反射的合束光经第一干涉支路形成激光目标光、LED目标光和LED参考光；透射的合束光经第二干涉支路形成激光参考光；激光目标光、LED目标光、LED参考光和激光参考光同步进入相移成像模块得到空间复用相移全息图。

主权项：1.一种基于LED照明的双波长动态全息显微成像系统，其特征在于：包括双波长光源模块、第一干涉支路、第二干涉支路和成像模块；所述双波长光源模块包括第一分光棱镜11、分别位于第一分光棱镜11两侧的LED照明光路和激光照明光路；LED照明光路用于提供0～π的线偏振LED平面波宽束照明光，激光照明光路用于提供水平偏振激光平面波宽束照明光；0～π的线偏振LED平面波宽束照明光和水平偏振激光平面波宽束照明光共同射入第一分光棱镜11形成双波长照明合束光，合束光通过第一分光棱镜11进行反射和透射；所述第一干涉支路和所述第二干涉支路分别设置在第一分光棱镜11的反射光路上和透射光路上；反射的合束光经第一干涉支路形成水平线偏振的激光目标光、水平线偏振的LED目标光和垂直线偏振的LED参考光；透射的合束光经第二干涉支路形成垂直线偏振的激光参考光；所述成像模块包括依次设置的第三分光棱镜24、消色差四分之一波片25和像素偏振相机26；所述消色差四分之一波片25的光轴方向为-π4，所述像素偏振相机26包括0、π4、π2、3π4四个线偏振方向；所述水平线偏振的激光目标光、水平线偏振的LED目标光、垂直线偏振的LED参考光和垂直线偏振的激光参考光同步射入第三分光棱镜24中，再同步进入消色差四分之一波片25中，水平线偏振的LED目标光和水平线偏振的激光目标光转变为右旋圆偏振态的LED目标光和激光目标光；垂直线偏振的LED参考光和垂直线偏振的激光参考光转变为左旋圆偏振的LED参考光和激光参考光；经像素偏振相机26形成相对相移为0,π2,π,3π2的物光与参考光光束对，并由像素偏振相机26记录得到空间复用相移全息图。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安电子科技大学;西安电子科技大学杭州研究院 一种基于LED照明的双波长动态全息显微成像系统与方法

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