申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117869335A

主分类号：F04D19/04

分类号：F04D19/04;F04D27/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及真空泵技术领域，公开了一种自动稳压分子泵及其控制方法，自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级正向涡轮和多级反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上；第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；真空规与控制系统连接；控制系统还与第一电磁阀组连接，控制系统根据目标真空压力和真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。本发明通过设计分子泵反向涡轮，利用反向涡轮主动降低压缩比，并在各级涡轮的密封壳体上开了流口，采用电磁阀连接不同的涡轮真空级，实现不同的压缩比，从而将真空气压调整为需要的压力。

主权项：1.一种自动稳压分子泵，其特征在于，所述自动稳压分子泵各级涡轮的密封壳体上开有流口，所述自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级所述正向涡轮和多级所述反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上，所述正向涡轮用于正向抽气，所述反向涡轮用于反向抽气；所述第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；所述真空规与所述控制系统连接，所述真空规用于检测自动稳压分子泵泵口的压力值，并将所述压力值发送给控制系统；所述控制系统还与所述第一电磁阀组连接，所述控制系统根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制所述第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种自动稳压分子泵及其控制方法

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