申请/专利权人：季华实验室

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871474A

主分类号：G01N21/63

分类号：G01N21/63;G01N21/88;G01Q70/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明提供一种检测设备及检测方法，检测设备包括样品台、激光入射模块、成像模块、光谱检测模块和探针检测模块，样品台用于放置样品；激光入射模块用于发出入射光线射向样品；成像模块用于获取样品的图像信息；光谱检测模块接收入射光线入射至样品后返回的信号，以根据信号获取样品的光谱；探针检测模块，探针检测模块包括不导电探针和检测子模块，不导电探针检测过程中与样品保持预设距离范围设置，检测子模块用于接收探针的变化信号以获取样品的表面形貌。该检测设备能够克服接触性检测中探针损伤，提高检测效率及降低检测成本；且能够在获取样品表面形貌的同时采集当前点的光谱信息，实现“图谱合一”的更高精度检测。

主权项：1.一种检测设备，其特征在于，包括：样品台，用于放置样品；激光入射模块，所述激光入射模块用于发出入射光线射向所述样品；成像模块，所述成像模块用于获取所述样品的图像信息；光谱检测模块，所述光谱检测模块接收所述入射光线入射至所述样品后返回的信号，以根据所述信号获取所述样品的光谱；探针检测模块，所述探针检测模块包括不导电探针和检测子模块，所述不导电探针检测过程中与所述样品保持预设距离范围设置，所述检测子模块用于接收所述探针的变化信号以获取所述样品的表面形貌。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 季华实验室 检测设备及检测方法

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