申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117869904A

主分类号：F23G7/06

分类号：F23G7/06;F23G5/44;F23G5/46;F23G5/50

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种废气处理系统、燃烧控制方法及余热回收控制方法。废气处理系统包括进气模块、燃烧模块和热量回收模块；进气模块包括第一进气管和第二进气管，燃烧模块包括燃烧室和点火装置，第一进气管和第二进气管与燃烧室均连通，第一进气管用于向燃烧室通入尾气，第二进气管用于向燃烧室通入空气，第一进气管的出口端套设有进气罩，进气罩的出口端与燃烧室连通，第二进气管与进气罩连通；热量回收模块与燃烧室连接，热量回收模块用于回收氢气燃烧产生的热量。本发明解决了现有技术中半导体废气处理设备安全系数低以及无法实现热回收利用的缺陷，有效提升含氢废气处理的安全系数，并实现热回收利用。

主权项：1.一种废气处理系统，其特征在于，包括：进气模块、燃烧模块和热量回收模块；所述进气模块包括第一进气管和第二进气管，所述燃烧模块包括燃烧室和点火装置，所述点火装置设置于所述燃烧室内，所述第一进气管和所述第二进气管与所述燃烧室均连通，所述第一进气管用于向所述燃烧室通入尾气，所述第二进气管用于向所述燃烧室通入空气，所述第一进气管的出口端套设有进气罩，所述进气罩的出口端与所述燃烧室连通，所述第二进气管与所述进气罩连通；所述热量回收模块与所述燃烧室连接，所述热量回收模块用于回收氢气燃烧产生的热量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 废气处理系统、燃烧控制方法及余热回收控制方法

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