申请/专利权人：新台佳光电有限公司

申请日：2024-02-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117863372A

主分类号：B28D5/00

分类号：B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;B28D7/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及晶圆技术领域，且公开了一种用于玻璃晶圆的精雕装置及方法，通过设置清理机构、收集机构与调节机构，能够根据实现晶圆的大小，通过电动伸缩杆带动滑动板的移动，实现弧形板对不同大小的玻璃晶圆进行夹持固定，同时通过刮板对掉落至弧形板顶部的碎屑进行清理，能够避免碎屑进入滑动槽的内腔，启动抽气泵使通风管与连接管产生向工作台外侧移动的气流，使碎屑横向与纵向进行移动，使碎屑能够全部进入清理孔，保证对碎屑的全部收集，通过收集盒对掉落的碎屑进行收集，同时通过拨动板的移动，避免碎屑的过度堆积，保证碎屑在取出的过程中不会出现掉落的现在，减少工作人员对碎屑的清理时间，同时方便工作人员对碎屑进行集中处理。

主权项：1.一种用于玻璃晶圆的精雕装置，其特征在于：包括工作台1，所述工作台1的顶部固定安装有雕刻机2，所述工作台1的一侧电性连接有控制器3，所述控制器3输出端与雕刻机2输入端电性连接，所述工作台1的顶部开设有放置槽4，所述放置槽4的内壁设置有清理机构5，所述工作台1的一侧设置有收集机构6，所述放置槽4的内壁设置有调节机构7；所述清理机构5包括清理孔501，所述清理孔501开设于放置槽4的内壁，所述清理孔501的数量为两个，所述清理孔501的内壁固定安装有连接管502，所述连接管502的表面固定连通有通风管503，所述通风管503的一端设置有抽气泵504，所述抽气泵504的输出端与通风管503的一端固定连接，所述通风管503的内壁固定安装有滤网505；所述收集机构6包括收集槽601，所述收集槽601开设于工作台1的一侧，所述收集槽601的内腔滑动连接有收集盒602，所述收集盒602内壁开设有移动槽603，所述移动槽603的内壁转动连接有调节杆604，所述收集盒602的一侧固定安装有电机605，所述电机605的输出端与调节杆604的一端固定连接，所述移动槽603的内腔滑动连接有拨动板606，所述调节杆604的表面与拨动板606的表面螺纹连接，所述收集盒602的一侧固定安装有把手607；所述调节机构7包括固定块701，所述固定块701固定安装于放置槽4的内壁，所述固定块701的一侧开设有滑动槽702，所述滑动槽702的内壁固定安装有电动伸缩杆703，所述电动伸缩杆703的伸缩端固定安装有滑动块704，所述滑动块704的一侧固定安装有弧形板705，所述滑动槽702的内壁固定安装有刮板706，所述刮板706的底部与滑动块704的顶部相接触。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 新台佳光电有限公司 一种用于玻璃晶圆的精雕装置及方法

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