申请/专利权人：株式会社岛津制作所

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117877961A

主分类号：H01J49/02

分类号：H01J49/02;H01J49/24;H01J49/42

优先权：["20221012 JP 2022-163929"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明提供一种能够以低成本实现且容易控制的流量切换机构。第一流路节流部包括：第一框体，具有贯通内部的通路，所述通路在远离其一端的位置具有剖面积比所述一端的通路的剖面积小的狭窄部；毛细管，具有剖面积比狭窄部小的内部通路；以及密闭支撑构件，在通路内对毛细管进行支撑，并且对毛细管的外周面与通路的内周面之间进行密封，第二流路节流部具有与第一框体相同形状的第二框体，且不具有毛细管及密闭支撑构件。三通阀具有出口端、与第一流路节流部的通路的另一端连接的第一入口端、以及与第二流路节流部的通路的另一端连接的第二入口端，且能够切换出口端与第一入口端连接的状态以及与第二入口端连接的状态。

主权项：1.一种质量分析装置，其特征在于，具有：真空腔室；第一泵，具有进气口以及排气口，所述进气口与所述真空腔室连接；第二泵，具有进气口以及排气口，所述排气口向大气开放；连接配管，将所述第一泵的所述排气口与所述第二泵的所述进气口加以连结；空气供给配管，一端连接于所述连接配管的中途，且向所述连接配管供给空气；流量切换机构，对从所述空气供给配管导入至所述连接配管的空气的流量进行切换；以及控制部，所述流量切换机构具有第一流路节流部、第二流路节流部以及三通阀，所述第一流路节流部包括：第一框体，具有贯通内部的通路，所述通路在远离其一端的位置具有剖面积比所述一端的所述通路的剖面积小的狭窄部；毛细管，具有剖面积比所述狭窄部的剖面积小的内部通路；以及密闭支撑构件，在所述通路内对所述毛细管进行支撑，并且对所述毛细管的外周面与所述通路的内周面之间进行密封，所述第二流路节流部具有与所述第一框体相同形状的第二框体，且不具有毛细管及密闭支撑构件，所述三通阀具有与所述空气供给配管的另一端连接的出口端、与所述第一流路节流部的所述通路的另一端连接的第一入口端、以及与所述第二流路节流部的通路的另一端连接的第二入口端，且构成为能够择一地切换所述出口端与所述第一入口端连接的第一状态以及所述出口端与所述第二入口端连接的第二状态，所述控制部对所述三通阀进行控制，以使得在执行质量分析时，所述三通阀成为所述第一状态，在所述第一泵及所述第二泵正在运转且未进行质量分析的待机时，所述三通阀成为所述第二状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社岛津制作所 流量切换机构及质量分析装置

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