申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司

申请日：2024-01-16

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878041A

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种归正装置以及加工设备。该归正装置包括安装框架、驱动机构、第一规整部、第二规整部、第三规整部以及第四规整部，驱动机构设置于安装框架；驱动机构用于驱动第一规整部和第二规整部相互靠近或远离；驱动机构用于驱动第三规整部和第四规整部相互靠近或远离，以用于规整第二列硅片；第二规整部位于第一规整部和第四规整部之间，第三规整部位于第一规整部和第四规整部之间，第二规整部在水平面上的投影与至少部分第三规整部在水平面上的投影可重叠。该归正装置以及加工设备能够在狭小的空间内同时实现两列硅片的规整。

主权项：1.一种归正装置，其特征在于，所述归正装置具有：安装框架；驱动机构，所述驱动机构设置于所述安装框架；第一规整部；第二规整部，与所述第一规整部相对设置，所述驱动机构用于驱动所述第一规整部和所述第二规整部相互靠近或远离，以用于规整第一列硅片；第三规整部；第四规整部，与所述第三规整部相对设置，所述驱动机构用于驱动所述第三规整部和所述第四规整部相互靠近或远离，以用于规整第二列硅片；其中，所述第二规整部位于所述第一规整部和所述第四规整部之间，所述第三规整部位于所述第一规整部和所述第四规整部之间，所述第二规整部的运动路径处于第一平面，所述第三规整部的运动路径处于第二平面，所述第一平面与所述第二平面位于竖直方向上不同的高度，以使所述第二规整部在水平面上的投影与至少部分所述第三规整部在水平面上的投影可重叠。

全文数据：

权利要求：

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