申请/专利权人：南京大学

申请日：2024-01-15

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878179A

主分类号：H01L31/09

分类号：H01L31/09;H01L31/0232;B82Y15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种可级联的波导集成单光子探测器，包括波导和单光子探测器，单光子探测器包括位于波导两侧的探测器电极以及覆盖于波导上方与探测器电极相连的纳米线，纳米线由若干个平行的纳米线单元依次首尾相连而成，纳米线蜿蜒延伸的方向与波导的延伸方向相同，单个纳米线单元的延伸方向与波导的延伸方向垂直。本发明可通过混合集成在一根波导上级联多个探测器，使得片上探测效率趋近100％；本发明纳米线的拐角设置在波导耦合区域外，可保证同波导耦合的所有纳米线均响应光子；可实现单光子探测器的备份与冗余；在转移集成过程中具有更大的对准冗余；可避免拐角和电极的影响，使得波导连续；混合集成可以避免超导和半导体工艺的不兼容。

主权项：1.一种可级联的波导集成单光子探测器，其特征在于，包括波导和单光子探测器，所述单光子探测器包括位于波导两侧的探测器电极以及覆盖于波导上方与探测器电极相连的纳米线，所述纳米线由若干个平行的纳米线单元依次首尾相连而成，整体呈蜿蜒状延伸，所述纳米线蜿蜒延伸的方向与波导的延伸方向相同，单个所述纳米线单元的延伸方向与波导的延伸方向垂直；沿着波导的延伸方向可级联若干个单光子探测器，后一个探测器可以继续探测前一个探测器未吸收的光子，从而提升整体探测效率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京大学 一种可级联的波导集成单光子探测器

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