申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117879382A

主分类号：H02N2/00

分类号：H02N2/00;H02N2/04;H02N2/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请涉及精密运动控制领域，特别是涉及一种压电自感知电路、压电致动装置和纳米定位系统，所述电路包括压电致动器、压电自感知单元、扰动抑制单元、增益放大器、增益衰减器以及差分放大器；所述差分放大器基于所述增益放大器输出的第一电压信号和所述压电致动器的第二电压信号，输出自感知信号；所述增益衰减器用于将所述第二电压信号引入至所述扰动抑制单元的输入端；所述扰动抑制单元用于抑制所述第二电压信号和所述自感知信号中的低频漂移，以保证所述第二电压信号与所述参考电压信号的线性关系。本申请对压电致动器的第二电压信号和差分放大器输出的自感知信号中的低频漂移分量进行了有效抑制。

主权项：1.一种压电自感知电路，其特征在于，所述电路包括压电致动器、压电自感知单元、扰动抑制单元、增益放大器、增益衰减器以及差分放大器；其中，所述压电致动器和压电自感知单元串联连接，所述压电自感知单元用于确定流入所述压电致动器的电荷量；所述扰动抑制单元、增益放大器、压电自感知单元、增益衰减器依次连接构成反馈控制回路，所述扰动抑制单元的输入端输入参考电压信号，所述差分放大器的正、反相输入端连接在所述压电自感知单元的两端，所述差分放大器基于所述增益放大器输出的第一电压信号和所述压电致动器的第二电压信号，输出自感知信号；所述增益衰减器用于将所述第二电压信号引入至所述扰动抑制单元的输入端；所述扰动抑制单元用于抑制所述第二电压信号和所述自感知信号中的低频漂移，以保证所述第二电压信号与所述参考电压信号的线性关系。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学杭州国际科创中心 压电自感知电路、压电致动装置和纳米定位系统

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