申请/专利权人：福建泓光半导体材料有限公司

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117866174A

主分类号：C08G59/30

分类号：C08G59/30;C08G59/62;C09D163/00;C09D5/00;G03F7/09

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明属于光刻技术领域，公开了一种芳香硫代环氧树脂及制备方法和应用。本发明提供的芳香硫代环氧树脂包括衍生自芳香硫代二环氧化物的结构单元以及衍生自羟烷基异氰尿酸酯的结构单元。本发明的关键在于采用具有特定结构的芳香硫代二环氧化物与羟烷基异氰尿酸酯经加成反应得到芳香硫代环氧树脂，当将该芳香硫代环氧树脂应用于光刻领域作为抗反射涂层组合物的成膜树脂时，能够很好地提高折射率、吸光度以及膜厚方面的稳定性，折射率、吸光度以及膜厚随着静置时间的延长不会发生大变化，极具应用前景。

主权项：1.一种芳香硫代环氧树脂，其特征在于，所述芳香硫代环氧树脂包括衍生自式1所示芳香硫代二环氧化物的结构单元以及衍生自式2所示羟烷基异氰尿酸酯的结构单元； 式1中，Ar为亚芳香基，R1选自H、C1～C6的烷基、C1～C6的卤代烷基、C1～C6的烷氧基、硝基、亚硝基或卤素；式2中，R2和R3各自独立地选自C1～C6的烷基、C1～C6的卤代烷基、C1～C6的烷羟基、C1～C6的烷烯基或C6～C20的芳基，n为1～10。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建泓光半导体材料有限公司 一种芳香硫代环氧树脂及制备方法和应用

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