申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十研究所

申请日：2024-02-05

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117871604A

主分类号：G01N25/20

分类号：G01N25/20;G01J5/48

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明公开了一种基于脉冲反射热成像的界面结构热物性测量方法及装置，属于热工量测量领域，包括：构建测试系统，该测试系统包括相机、脉冲光源、光学偏折透镜、物镜、待测样品和计算控制器；脉冲光源提供入射光，经光学偏折透镜偏折，再经物镜照射至待测样品表面，待测样品表面的反射光再经物镜被相机捕获；使用超快脉冲控制单元对待测样品施加激励，通电产生焦耳热，使待测样品表面产生温升和温降；温度变化使得相机探测到的反射光强度发生变化，记录反射率变化的图像，再结合相应材料的反射率温度系数提取出表面温度分布。本发明提供了一种满足微尺度界面结构热物性测量需求的新测试方法，为先进电子设备热优化提供了基础支撑。

主权项：1.一种基于脉冲反射热成像的界面结构热物性测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，构建测试系统，该测试系统包括相机、脉冲光源、光学偏折透镜3、物镜4、待测样品5和计算控制器6；脉冲光源提供入射光，经光学偏折透镜3偏折，再经物镜4照射至待测样品5表面，待测样品5表面的反射光再经物镜4被具有同步锁定检测功能的相机捕获；S2，使用超快脉冲控制单元对待测样品5施加激励，通电产生焦耳热，使待测样品5表面产生温升和温降；温度变化使得相机探测到的反射光强度发生变化，记录反射率变化的图像，再结合相应材料的反射率温度系数提取出表面温度分布。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子科技集团公司第十研究所 基于脉冲反射热成像的界面结构热物性测量方法及装置

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