申请/专利权人:西南技术物理研究所
申请日:2023-12-10
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN117871470A
主分类号:G01N21/45
分类号:G01N21/45;G01N21/01;G01D5/353
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开
摘要:本发明公开了一种消除零漂的干涉测量系统,其包括:激光器、样品干涉光路、背景干涉光路、探测器和扩束镜,沿样品干涉光路方向依次布置激光器、扩束镜、分光镜,样品、反射镜、半透半反镜,反射镜位于分光镜的透光侧,背景干涉光路与样品干涉光路共用激光器、扩束镜、分光镜和半透半反镜,分光镜的反光侧布置PZT压电陶瓷反射器件,半透半反镜的出光侧布置探测器。本发明对于缓慢变化物理量的测试,可消除零漂带来的影响。
主权项:1.一种消除零漂的干涉测量系统,其特征在于,包括:激光器、样品干涉光路、背景干涉光路、探测器和扩束镜,沿样品干涉光路方向依次布置激光器、扩束镜、分光镜,样品、反射镜、半透半反镜,反射镜位于分光镜的透光侧,背景干涉光路与样品干涉光路共用激光器、扩束镜、分光镜和半透半反镜,分光镜的反光侧布置PZT压电陶瓷反射器件,半透半反镜的出光侧布置探测器。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 西南技术物理研究所 一种消除零漂的干涉测量系统及测量方法
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