申请/专利权人：南京理工大学

申请日：2024-02-28

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117862679A

主分类号：B23K26/352

分类号：B23K26/352

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明属于光测力学领域，具体公开了一种基于飞秒激光表面重构的SEM‑DIC纳米散斑制备方法。SEM‑DIC纳米散斑的制备步骤为：先确定飞秒激光表面重构参数脉冲宽度≤1ps，脉冲频率为1～1000kHz，脉冲间距为1～10μm，波长为250～1064nm，扫描照射输出功率为1～500mW，偏振为圆偏振，光斑直径为5～50μm，扫描速度为0.1～10mms；然后使用三轴飞秒激光加工系统扫描照射样品，得到纳米散斑。本发明公开的制备方法简单，过程迅速，不会损伤样品，纳米散斑尺寸小而均匀且衬度高，不存在脱落的问题，可以在微尺度样品和曲面上制备散斑。

主权项：1.一种基于飞秒激光表面重构的SEM-DIC纳米散斑制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1确定飞秒激光表面重构参数；2使用三轴飞秒激光加工系统扫描照射样品，得到纳米散斑；其中，飞秒激光表面重构参数包括：脉冲宽度≤1ps，脉冲频率为1～1000kHz，脉冲间距为1～10μm，波长为250～1064nm，扫描照射输出功率为1～500mW，偏振为圆偏振，光斑直径为5～50μm，扫描速度为0.1～10mms。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京理工大学 一种基于飞秒激光表面重构的SEM-DIC纳米散斑制备方法

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