申请/专利权人：深圳市中图仪器股份有限公司

申请日：2022-04-29

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114910016B

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.09.02#实质审查的生效;2022.08.16#公开

摘要：本公开描述了一种白光干涉信号的重建装置，包括发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，发生模块用于产生包括第一光束和第二光束的目标光束，分光模块包括第一分光单元和第二分光单元，第一分光单元配置为接收目标光束且反射目标光束至干涉物镜，目标光束在干涉物镜形成目标反射光束，第二分光单元配置为接收经由第一分光单元透射的目标反射光束，并解耦目标反射光束为与第一光束相匹配的第一反射光束和与第二光束相匹配的第二反射光束；数据处理模块配置为基于第一反射光束获取目标点的初始高度，并基于第二反射光束对初始高度进行补偿。根据本公开，能够对目标点的测量高度进行补偿以提高目标点的测量精度。

主权项：1.一种白光干涉信号的重建装置，其特征在于，所述重建装置基于白光干涉信号测量待测物的多个目标点的高度并基于补偿干涉信号和多个所述目标点的高度对所述待测物进行重建，所述重建装置包括发生模块、分光模块、干涉物镜、接收模块、以及数据处理模块，所述发生模块用于产生包括形成白光干涉信号的第一光束和形成补偿干涉信号的第二光束的目标光束，所述分光模块包括第一分光单元和第二分光单元，所述第一分光单元配置为接收目标光束且反射目标光束至所述干涉物镜，目标光束在所述干涉物镜形成目标反射光束，所述第二分光单元配置为接收经由所述第一分光单元透射的目标反射光束，并解耦目标反射光束为与第一光束相匹配的第一反射光束和与第二光束相匹配的第二反射光束；所述接收模块包括同步接收光信号的第一接收单元和多个第二接收单元，所述第一接收单元用于接收第一反射光束，多个所述第二接收单元用于接收第二反射光束；所述数据处理模块配置为基于第一反射光束获取多个所述目标点的初始高度，基于多个所述第二反射单元接收的第二反射光束在整个扫描行程中的补偿干涉信号计算获得多个所述目标点的高度误差，并基于多个所述目标点的高度误差合成振动面；并且基于所述高度误差对所述初始高度进行补偿，基于所述振动面对所述目标点的角度变化进行补偿。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市中图仪器股份有限公司 白光干涉信号的重建装置

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